2021-08-02 09:15
就必 须更换新的减薄蚀刻液，造成资源浪费和环境污染。 因此，本研究提出一种不同于传统玻璃减薄方法的 新工艺，用以 处 理 玻 璃，从 而 降 低 玻 璃 表 面 的 粗 糙 度，并减少其表面白色附着物的沉积，实 现 微 氟 减薄目的。分析天 平（ＴＤ５０００１ａ型），郑 州 多 创 电 子 科 技 有限公司；紫 外－分 光 光 度 计（ＵＶ－５８００Ｈ 型），上 海 元析仪器有限公司；干燥箱（１０１－１型），北京中科路 建仪器设 备 有 限 公 司；数 控 恒 温 磁 力 搅 拌 器（８５－２ 型），海梅颖浦仪器仪表制造有限公司；功率可调加 热型超声波清洗器（ＳＫ８２１０ＨＰ型），上海科导超声 仪器有限公 司；表 面 粗 糙 度 测 量 仪（ＳＪ－２１０型），日 本三丰公司；生物显微镜（Ｍ３７０２Ｄｉｇｉｔａｌ－１０Ａ Ｘ４００ 型），厦门市麦克奥迪实业集团有限公司；手机面板 三点抗弯强度试验机（ＰＴ－３０７），东莞市普赛特检测 设备有限公司。
超声处理时间不同，玻璃表面 最终的粗糙度不同。在３０ｍｉｎ后，表面粗糙度随超 声时间的延长，有明显上升的趋势。这是因为超声 时间小于３０ｍｉｎ时，超声波的化学作用力能量不足 以使 ＨＦ和 ＨＦ－ ２ 与表面硅氧网络结构发生减薄反 应；但是时间的进一步延长对粗糙度的增加没有明 显贡献，此阶段玻璃表面受到超声波空化作用比较 充分，玻璃的减薄主要决定于 ＨＦ－ ２ 浓度。因此，玻 璃减薄的超声时间控制在３０ｍｉｎ为宜。在相同超声条件下，不同酸液的 加入对玻璃表面微晶的剥离有不同程度的影响，进 而影响减薄效果：其中硫酸对玻璃表面形貌影响较 大，表面形成大量剥离痕迹，减薄效果较强；盐酸影 响较弱，经处理后，玻璃表面形成少量白色附着物； 而新型减薄液效果较好，减薄后玻璃基板上的晶粒 尺寸大小相近。